青島某大學(xué)3臺雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)已投入使用
2024-4-29
案例簡介
設(shè)備名稱：雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)已投入使用用戶單位：青島某大學(xué)
設(shè)備簡要：雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫；PLC控制5路質(zhì)子流量器，能夠精確控制系統(tǒng)的供氣；真空泵可實(shí)現(xiàn)對管式爐快速抽真空。CVD（化學(xué)氣象沉積系統(tǒng)）常用于表面材料生長、沉積，是一款實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備
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