2017-12-8
雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng) CVD1200C-II-SL 200D50-5Z
設(shè)備描述
CVD1200C-II-SL 200D50-5Z 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動(dòng)并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫;PLC控制5路質(zhì)子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實(shí)現(xiàn)對(duì)管式爐快速抽真空。CVD(化學(xué)氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長(zhǎng)、沉積,是一款實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備
技術(shù)參數(shù)
雙溫區(qū)滑軌爐LFT1200C-II 200D50-5Z |
爐體結(jié)構(gòu) |
該設(shè)備采用雙層殼體并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使其爐體表面溫度都小于55℃ 爐底安裝一對(duì)滑軌,可手動(dòng)滑動(dòng),以便滿足特殊工藝的快速升降溫的求。 |
爐管尺寸 |
Φ50/60/80/100×1400mm(可提供特殊定制。) |
|
功率 |
5kW |
|
輸入電壓 |
220VAC 單相 50/60Hz |
|
加熱元件 |
Cr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金) |
|
最高溫度 |
最高溫度:1200℃ 額定溫度:1100℃ |
|
升溫速率 |
≦10℃/min(推薦) |
|
加熱區(qū)長(zhǎng)度度 |
兩個(gè)加熱區(qū)的長(zhǎng)度都是200mm 分別由獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制 |
|
恒溫區(qū)長(zhǎng) |
100+100mm(±1℃) 可獲得較長(zhǎng)恒溫區(qū)間 |
|
控溫精度 |
±1℃ |
|
快速連接法蘭 |
Φ50快結(jié)式不銹鋼真空法蘭
打開法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便 |
|
五路質(zhì)子流量控制系統(tǒng) MFC-5Z
|
電壓 |
220VAC 單相 50/60Hz |
針閥材質(zhì) |
316不銹鋼 |
|
量程 |
50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇) |
|
工作溫度 |
5~45℃ |
|
外型尺寸 |
600(L) x 600(W) x 700(H) mm |
|
電壓 |
AC220V/50Hz單相 |
|
功率 |
23W |
|
真空系統(tǒng) LVU-10 |
殼體尺寸 |
600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
最大承載量 |
1000 Lbs |
|
抽氣速率 |
10m3/h 極限真空度:10-1Pa 雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì))與真空泵連接 |
|
質(zhì)保期 |
一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈加熱元件等易耗件 |
|
使用注意事項(xiàng) |
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司 版權(quán)所有 皖I(lǐng)CP備17004830號(hào)