自動(dòng)回轉(zhuǎn)進(jìn)料PECVD設(shè)備
2021-3-16
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn)，管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)更均勻；
2.可左右大角度傾斜，方便出放料，傾斜角度在0~35°之間。
3、廣泛應(yīng)用于電池正負(fù)極材料，無強(qiáng)酸堿性粉體材料，顆粒狀物料。
| 型號(hào) | LFT 1200C440D60R-CVD |
| 最高溫度 | 1200℃ |
| 工作溫度 | 1100℃ |
| 升溫速率 | 30℃/min |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 440mm |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 熱電偶 | K型 |
| 控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能。 |
| 爐管尺寸 | Φ60*420*2+Φ100*360mm |
| 爐管轉(zhuǎn)速 | 3~13r/min |
| 傾斜角度 | 0~35° |
| 密封方式 | 兩端法蘭+磁流體密封 |
| 加熱功率 | 3KW |
| 供電電源 | 220V 50Hz |
| 設(shè)備凈重 | 約200KG |
| 供氣系統(tǒng) | 100sccm、200sccm、200sccm（量程、流量計(jì)數(shù)量可選） |
| 真空系統(tǒng) | 低真空機(jī)組，真空度可達(dá)1*10-1 |
| （可選配高真空機(jī)組） |
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