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晶體材料
鋁酸鑭(LaAlO3)
簡介:鋁酸鑭(LaAlO3)單晶是當前非常重要的大尺寸高溫超導薄膜基片單晶材料。它對多種鈣鈦礦結構材料晶格匹配好,是外延生長高溫超導薄膜和巨磁阻薄膜極好的襯底材料,介電常數(shù)較低,微波損耗小,適用于制作高溫超導微波電子器件(例如:遠程通訊中的高溫超導微波濾波器等)。
性能及參數(shù) |
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生長方法 |
提拉法 |
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晶體結構 |
六方(常溫) |
立方(>435℃) |
晶格常數(shù) |
六方a=5.357 ? c=13.22 ? |
立方a=3.821 ? |
顏色及外觀 |
依退火狀況而不同,由棕黃到褐色,拋光基片有自然孿晶疇。 |
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化學穩(wěn)定性 |
室溫下不溶于礦物酸,溫度大于150℃時可溶于磷酸(H3PO4) |
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密度 |
6.52 g/cm3 |
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熔點 |
2080℃ |
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莫氏硬度 |
6.5mohs |
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熱膨脹系數(shù) |
9.4×10-6/℃ |
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介電常數(shù) |
25 |
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正切損耗(10GHz) |
~3×10-4 @300k ~0.6×10-4 @77k |
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晶向 |
<100>、<110>、<111> |
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晶面定向精度 |
±0.5° |
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邊緣定向精度 |
±1° |
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斜切晶片 |
可按照客戶需求,定制特殊方向 |
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尺寸(可按照客戶需求,定制特殊尺寸) |
10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm、15×15×0.5mm等 |
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dia1″×0.5、dia2″×0.5等 |
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拋光 |
單面拋光、雙面拋光 |
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表面粗糙度 |
<5 ? |
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包裝 |
1000級超級凈室100級超凈袋或單片晶盒封裝 |