鋁酸鑭
2017/3/21
鋁酸鑭（LaAlO3）
簡(jiǎn)介：鋁酸鑭（LaAlO3）單晶是當(dāng)前非常重要的大尺寸高溫超導(dǎo)薄膜基片單晶材料。它對(duì)多種鈣鈦礦結(jié)構(gòu)材料晶格匹配好，是外延生長(zhǎng)高溫超導(dǎo)薄膜和巨磁阻薄膜極好的襯底材料，介電常數(shù)較低，微波損耗小，適用于制作高溫超導(dǎo)微波電子器件（例如：遠(yuǎn)程通訊中的高溫超導(dǎo)微波濾波器等）。
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性能及參數(shù) |
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生長(zhǎng)方法 |
提拉法 |
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晶體結(jié)構(gòu) |
六方（常溫） |
立方（＞435℃） |
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晶格常數(shù) |
六方a=5.357 ? c=13.22 ? |
立方a=3.821 ? |
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顏色及外觀 |
依退火狀況而不同，由棕黃到褐色，拋光基片有自然孿晶疇。 |
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化學(xué)穩(wěn)定性 |
室溫下不溶于礦物酸，溫度大于150℃時(shí)可溶于磷酸（H3PO4） |
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密度 |
6.52 g/cm3 |
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熔點(diǎn) |
2080℃ |
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莫氏硬度 |
6.5mohs |
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熱膨脹系數(shù) |
9.4×10-6/℃ |
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介電常數(shù) |
25 |
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正切損耗（10GHz） |
～3×10-4 @300k ～0.6×10-4 @77k |
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晶向 |
<100>、<110>、<111> |
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晶面定向精度 |
±0.5° |
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邊緣定向精度 |
±1° |
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斜切晶片 |
可按照客戶需求，定制特殊方向 |
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尺寸（可按照客戶需求，定制特殊尺寸） |
10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm、15×15×0.5mm等 |
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dia1″×0.5、dia2″×0.5等 |
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拋光 |
單面拋光、雙面拋光 |
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表面粗糙度 |
＜5 ? |
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包裝 |
1000級(jí)超級(jí)凈室100級(jí)超凈袋或單片晶盒封裝 |
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