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一、簡(jiǎn)要介紹
該真空箱式爐系列用于在1100℃下半導(dǎo)體器件、金屬材料的熱處理和還原性燒結(jié)等工藝，也可用于產(chǎn)品的炭化試驗(yàn)。該爐采用電阻絲加熱，PID程序控溫儀控制，溫控儀可設(shè)定30 段升溫曲線、PID控制參數(shù)自整定、并具有斷偶、超溫報(bào)警保護(hù)等功能。爐體采超輕質(zhì)高鋁纖維材料，具有熱容小、溫度升降控制靈活、節(jié)能等特點(diǎn)，設(shè)備已根據(jù)所需冷態(tài)極限真空≤400Pa集成配備了真空泵及相關(guān)配件。
該設(shè)備為密封式加熱腔體,確保設(shè)備可在真空條件下,或者一些特殊氣氛條件下使用，相比普通箱式爐，使用環(huán)境更靈活，使用范圍更廣泛。
二、技術(shù)參數(shù)
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型號(hào) |
LFM1200C 91VC |
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額定功率 |
19KW |
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額定電壓 |
AC 380V 三相 |
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最高溫度 |
1200℃ |
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額定溫度 |
≤1100℃ |
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升溫速率 |
10℃/min |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
模糊 PID 程序控溫（30段程序控溫） |
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熱電偶型號(hào) |
K 型 |
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加熱元件 |
電阻絲 |
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設(shè)備重量 |
400KG |
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外型尺寸（長(zhǎng)×深×高） |
920*1000*1300mm |
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爐膛尺寸（W*D*H） |
450*450*450mm |
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爐膛容積 |
91L |
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空氣開(kāi)關(guān) |
40A |
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冷態(tài)極限真空 |
≤400Pa |
皖公網(wǎng)安備 34010302001026號(hào)