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材料制備、真空獲得與檢測(cè)領(lǐng)域?qū)<?/p>

CVD系統(tǒng)

LFT系列雙溫區(qū)真空管式爐配高真空 LF1200C-440D100II HV

文字:[大][中][小] 2022-5-12    瀏覽次數(shù):485    


設(shè)備特點(diǎn)

    LFT1200C 400D100II雙溫區(qū)開啟式真空管式爐采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu),爐體表面溫度≤60℃,爐膛采用高純度氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型。進(jìn)口加熱電阻絲鑲嵌延長(zhǎng)爐體使用壽命,該設(shè)備設(shè)計(jì)為與手套箱對(duì)接使用,樣品可完全處于相對(duì)對(duì)立的無(wú)水無(wú)氧環(huán)境,該設(shè)備還配有高真空系統(tǒng),整個(gè)實(shí)驗(yàn)工藝可在真空控制條件下進(jìn)行,具備較高的擴(kuò)展性和重復(fù)性,是專為高等院校﹑科研院所的實(shí)驗(yàn)室及工礦企業(yè)在相對(duì)對(duì)立的無(wú)氧無(wú)水環(huán)境下操作的設(shè)備。

 

技術(shù)參數(shù):

名稱

開啟式溫區(qū)真空管式爐 LFT1200C 400D100II

爐管尺寸

Φ1300×1200mm 更多其他規(guī)格石英管可選(Φ50/60/80/100mm等)

主要參數(shù)

最高溫度: 1200℃(使用時(shí)必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變)

 工作溫度: 1100℃

 推薦升溫速率:≤10℃/min

 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 200+200mm

 額定功率:5KW

 電壓:?jiǎn)蜗郃C 208 - 240V, 50Hz

爐體結(jié)構(gòu)

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C

高純狀氧化鋁纖維絕緣層,最大限度節(jié)約能源

爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長(zhǎng)爐子的使用壽命

溫控系統(tǒng)

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能

 智能化30段可編程控制

 具有超溫及斷偶報(bào)警功能

 控溫精度: ±1 ℃

 K型熱電偶

 可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集(需另購(gòu))

溫控儀表(可選)

標(biāo)配儀表品牌為宇電,可指定其他品牌溫控儀表,如島電等。

管堵

兩個(gè)石英管堵,防止來(lái)自內(nèi)部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須完全放入爐腔。石英管堵滿足潔凈實(shí)驗(yàn)環(huán)境或者較高真空需求

密封系統(tǒng)

爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭),設(shè)備設(shè)計(jì)可與手套箱操作系統(tǒng)相互對(duì)接。

 如需獲得較高的真空度,建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計(jì)(需另外訂購(gòu))

出氣端配備磁流體密封裝置,容許設(shè)備在連續(xù)真空條件下工作。

備注:本公司標(biāo)配法規(guī)格如下進(jìn)氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。

出氣端預(yù)留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數(shù)顯真空計(jì),以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣

擴(kuò)展端口

 如進(jìn)氣管道為橡膠軟管,則需將進(jìn)氣口更換成Φ9氣嘴接頭

高真空機(jī)組

1、技術(shù)指標(biāo)

環(huán)境溫度:5~32℃

空氣相對(duì)濕度:≤85%

工作電壓:AC220V±10%  50/60HZ

系統(tǒng)整體極限真空度:5.0×10-5Pa

實(shí)驗(yàn)真空度:5.0×10-3Pa

連接管路:采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s

外形尺寸600*600*700mm

2、配置說(shuō)明  

2.1、機(jī)械泵:

抽氣速率:4L/S

容油量:1.1L

電機(jī)功率:400W

極限壓強(qiáng):6×10-2Pa

2.2、分子泵:

抽氣速率:100L/S

極限壓強(qiáng):6×10-6Pa

啟動(dòng)時(shí)間:<2min

額定轉(zhuǎn)速:4300轉(zhuǎn)/分

冷卻方式:環(huán)境溫度5-32℃時(shí),風(fēng)冷;5-40℃時(shí)看,水冷。

2.3、分子泵控制器:

電壓:220V±22V

啟動(dòng)電流:≤7A

輸入頻率:47HZ—63HZ

最大輸出功率:≤150W

最大加速電壓:≤40V

加速時(shí)間:≤3min

頻率(雙速):高速705HZ±10HZ

             低速430HZ±5HZ

2.4、復(fù)合真空計(jì):

測(cè)量路數(shù):2路(電阻規(guī)、電離規(guī)各1路)

工作模式:手動(dòng)/自動(dòng)(可切換)

電阻單元參數(shù)

規(guī)管型號(hào):ZJ-52T電阻規(guī)

測(cè)量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

電離單元參數(shù)

規(guī)管型號(hào):ZJ-27電離規(guī)

可測(cè)范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

規(guī)管除氣方式:焦耳去氣

控制方式:點(diǎn)動(dòng)或區(qū)域控制/帶掉電記憶

控制精度:±1%

采樣時(shí)間:1S

電源:220V±10% 50HZ

功耗:50W

使用環(huán)境溫度:0℃~45℃

濕度:≤85%

 

外形尺寸

爐體 800mm(L) ×410mm(W) × 560mm(H)

真空系統(tǒng):800*450*600mm

凈重

100Kg

質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。

 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

相關(guān)應(yīng)用

爐膛內(nèi)襯可以單獨(dú)更換(額外付費(fèi))

 可以根據(jù)要求設(shè)計(jì)成帶有滑動(dòng)法蘭的爐子

應(yīng)用注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃

 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

 


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